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        微電子行業的密封解決方案
        
					
        2023-05-04 14:57:30
        
					
        
						
						
        
	在微電子行業，密封材料面臨嚴苛挑戰。它們要從容應對等離子、氣體、高溫、酸堿等不同腐蝕，保持“纖塵不染”的高貴品質，滿足行業對密封材料的高潔凈度要求。否則，密封材料容易出現腐蝕、溶脹、老化等問題，導致密封失效。 

        

        
	派克漢尼汾旗下的FFKM（全氟橡膠）無懼嚴苛工況，它們擁有低顆粒物析出、高潔凈度、耐化學介質及耐電離輻射等高品質性能，耐受溫度可高達320℃，FFKM由優質的氟碳化合物組成，其中超高潔凈的FFKM在單獨的制造單元生產，保護材料不受塵埃、模具涂料等污染，為材料潔凈度保駕護航。 

        

        
	微電子行業的密封解決方案 

        

        
	針對微電子行業的具體應用工況，派克漢尼汾旗下不同系列的FFKM各有所長，下面，我們就來解鎖其中兩款FFKM，看看它們所擁有的神奇密封術吧！ 

        

        
	
        

        

        
	[ 關鍵詞 ] 耐壓變     

        

        
	雖然FFKM耐高溫和耐化學腐蝕能力非常優秀，但耐壓變性能卻相對較差。如果密封件的回彈能力減弱發生形變，其橡膠特性就會受到嚴重影響，進而導致泄漏。針對這一行業難題，派克漢尼汾推出ULTRA FF156 

        

        
	微電子行業的密封解決方案 

        

        
	在實驗室，我們將相同硬度的FF156和其他類似耐化學腐蝕的FFKM產品進行耐壓變性能對比測試。 

        

        
	數據顯示，FF156在耐壓變性能方面優于其他兩種材料，使用壽命更長。 

        

        
	微電子行業的密封解決方案 

        

        
	
        

        

        
	[ 關鍵詞 ]顆粒物析出，抗腐蝕能力 

        

        
	在使用NF3和O2等離子體進行清潔，沉積SiH4的化學氣相沉積（HDP-CVD）工藝中，一家制造商使用行業領先的密封件，還是發生了腐蝕。如下圖所示，材料I和II發生嚴重降解，約20%的密封材質受到侵蝕；而在相同的使用時間內，FF302 O形圈沒有受到侵蝕。 

        

        
	微電子行業的密封解決方案 

        

        
	
        

        

        
	事實上，FF302-75的實驗表明，它能夠耐受具有強腐蝕性的蝕刻和清潔化學成分。因此，越來越多的半導體行業客戶開始采用FF302，以降低成本。 

        		
						
					
        
					
        
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